超纯净电子化学品制造项目通过鉴定

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5月27日，由北京化工大学等单位共同完成的超纯净电子化学品高效、绿色制造技术项目，在北京通过了由中国石油和化学工业联合会组织的成果鉴定。由中国科学院院士、清华大学教授费维扬，中国化工学会教授级高工王玉庆等7位专家组成的鉴定委员会一致认为，项目团队发明了超纯净电子化学品高效提纯系列技术与装备，实现了装备的自主生产和成功应用，其核心技术处于国际领先水平。

根据鉴定意见，项目组发明了新型结构高效分离填料，分离效率优于国际同类先进水平，制备的超纯净芯片用电子化学品产品指标达到或优于国际同类产品；发明了适用于高效脱除金杂和固体颗粒物的高效丝网除雾器，压降低、除雾效率高；发明了精馏与结晶等有机结合的协同高效提纯新工艺，显著提高了产品纯度、降低了能耗与成本。

同时，上述系列技术均具有完全自主知识产权，并已获得广泛的工业化应用，成功用于生产新一代硅基材料、系列化湿电子化学品、电子特气等，近3年来取得了显著的经济效益和社会效益。其中，所产纯度达99.9999%的乙硅烷，质量和能耗优于国际先进水平，产品已稳定供应芯片公司；所产电子级盐酸等系列湿电子化学品，金属杂质钙、镁、铁含量小于5ppt，质量优于国际同类产品；所产电子特气、芯片稀土元素等，也均实现质量和能耗先进。

鉴定会上，专家组对项目成果的自主知识产权和优异的工业化应用成绩尤为肯定。王玉庆称赞该成果“是一个思路上的创新”。他表示，目前在经典分离领域的创新越来越难，项目成果的取得实属不易。该项目带头人北京化工大学传质与分离工程研究中心主任李群生告诉中国化工报记者，该项目已获得国内发明专利授权58件、国际专利授权3件。

鉴定专家组成员、中国海洋石油集团公司高级工程师李斌认为，项目成果有更广阔的推广应用空间。与会的多家行业领军企业代表也表示出进一步合作意向。据李群生介绍，项目成果已在全国数十家企业应用，取得了显著的社会效益、经济效益和生态环境效益。

电子化学品广泛应用于集成电路、人工智能、电子信息、航空航天等领域。目前我国约90%高端电子化学品需求依赖进口，相关生产、提纯技术难度极大，是亟需解决的产业难题。针对国家战略需求，由李群生领衔的科研团队面壁十年终破壁，取得了重大突破。（李东周）